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チャンバーベーキング

2007年8月 5日 20:47

 昨日までの真空チャンバー内面処理の項でご説明して
参りました通り、その表面からの脱ガスの作用により真空
中に飛散するガスが真空度に大きな影響を与えます。

 たとえば真空チャンバーの材料で最も多く利用されている
ステンレス製からはどのようなガスが出てくるのでしょうか?

 排気してすぐの状態では、大気組成に近いガス成分が放出
してきます。その後、水分(H2O)が多量に出てきます。さらに
CO、O2、N2、CO2、CH4などといったガスが徐々に排気され
てまいります。一般的に超高真空仕様の装置などの場合、真空
チャンバー自身を加熱して脱ガスを促進させる「ベーキング処理」
を行います。当然のことながら常温で排気している状態から加熱
したと途端に大量のガスが放出されチャンバー内の真空度が一気
に低下します。当然のことながら内面処理の方法によって脱ガス
する早さや量などは変化します。約一日程度ベーキングをしながら
真空排気を続けると脱ガス作用はだいぶ落ち着いてきます。更に
続けていきますと、最後に残るのはほとんどが水素ガスということに
なります。

真空装置、真空チャンバーのご検討、ご相談のことなら
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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。


今日の埼玉のお天気は?
 8月5日
 天気 はれ
 気温 27℃

です。
夕方、たくさんの蝉の声にまぎれてまだ慣れていない
蜩の鳴き声聞こえてきました。
日本の夏を象徴する風物詩のひとつですね。
昔から、この鳴き声を聞くと心が落ち着く感じがします。


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