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真空の漏れ検査(リークテスト)

2007年8月 1日 22:52

 真空容器(チャンバー)などの漏れを測定する方法は
数種類ありますのでご紹介いたします。

・真空装置法
 被試験物内部 : 真空
 被試験物外部 : 大気圧
 検出原理    : 圧力上昇
 プローブ     :  −
 検知可能流量 : 10-6 〜 10-8 Pa・m3/sec
 ※ビルドアップ法とも言います。

・加圧発泡法
 被試験物内部 : 加圧
 被試験物外部 : 大気圧
 検出原理    : 気泡
 プローブ     : 加圧大気(石鹸水)
 検知可能流量 : 10-2 〜 10-3 Pa・m3/sec
 ※リーク検知液を塗布する検知剤商品もあります。

・水中発泡法
 被試験物内部 : 加圧
 被試験物外部 : 大気圧
 検出原理    : 水槽中に発生する気泡
 プローブ     : 大気加圧
 検知可能流量 : 10-4 〜 10-5 Pa・m3/sec
 ※水槽の液体に石鹸水を使用すると感度が上がります。

・ハロゲンリークディテクター法
 被試験物内部 : 真空
 被試験物外部 : 大気圧または加圧
 検出原理    : ハロゲンガスの電離
 プローブ     : ハロゲンガス
 検知可能流量 : 10-5 〜 10-9 Pa・m3/sec
 ※測定機器があります。スニファー法によるものです。

・ヘリウムリークテスト法
 被試験物内部 : 真空
 被試験物外部 : 大気圧または加圧
 検出原理    : 質量分析によるヘリウム検知
 プローブ     : ヘリウムガス
 検知可能流量 : 10-11 〜 10-13 Pa・m3/sec
 ※外覆法、吹き付け法など。

・真空計法
 被試験物内部 : 真空
 被試験物外部 : 大気圧
 検出原理    : 大気とプローブガスの感度差
 プローブ     : アルコール、ヘリウム、ブタンガスなど
 検知可能流量 : 10-1 〜 10-9 Pa・m3/sec
 ※ピラニ真空計、電離真空計などを使用します。

・残留ガス分析法
 被試験物内部 : 真空
 被試験物外部 : 大気圧
 検出原理    : プローブ物質のピーク検知
 プローブ     : アルコール、ヘリウムガスなど
 検知可能流量 : 10-10 Pa・m3/sec
 ※残留ガス分析計(Qマス)を使用しての検出方法です。

・イオンポンプ法
 被試験物内部 : 真空
 被試験物外部 : 大気圧
 検出原理    : イオンポンプの放電電流の変化計測
 プローブ     : ヘリウムガス
 検知可能流量 : 10-3 〜 10-9 Pa・m3/sec
 ※スパッタイオンポンプを使用します。

・ガイスラー管法
 被試験物内部 : 真空
 被試験物外部 : 大気圧または加圧
 検出原理    : 放電色の変化
 プローブ     : ヘリウムガスやアルコールなど
 検知可能流量 : 10-2 Pa・m3/sec
 ※積分法で見ることも出来ます。有機色は青色で
   赤紫は空気です。

・カラーチェック 被試験物内部 : 大気圧
 被試験物外部 : 大気圧
 検出原理    : 赤浸透液、白現像液の吹き付け
 プローブ     :  −
 検知可能流量 : 10-5 Pa・m3/sec
 ※カラーチェック液など商品があります。穴の詰まり現象
   に注意が必要です。

・フロンポンピング法
 被試験物内部 : 大気圧
 被試験物外部 : 大気圧・加圧
 検出原理    : フロンFC78液のFC43液中での気化と発泡
 プローブ     : フロン液
 検知可能流量 : 10-6 Pa・m3/sec
 ※ポンピングおよび加熱装置が必要です。

 それぞれ一長一短で、また、対象物から脱ガスする成分や
リーク検査を行う目的などにより上記以外の方法も検討する
必要があります。

リーク検査のことなら、川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。

TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。


今日の埼玉のお天気は? 
 8月1日 
 天気 晴れ
 ボンベ庫の温度 朝25℃、昼30℃、夜30℃

です。
8月は葉月(はづき)と呼びます。
木の葉が紅葉して落ちる月とか、稲の穂が張る月とか
雁が初めて来る月の意や南方からの台風が多く来る月
の意などあるようです。


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