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流量単位の換算値

2007年7月15日 21:53

 気体の流量は、温度や圧力によってその体積が大きく変化
します。どの状態のときの流量なのか明らかにしておかないと
誤解や混乱を招くことになります。
 普通、室温で使用しているとその温度変化を気にしないこと
もあろうかとおもいますが、温度が1℃変化しますと体積が約
0.3%変化するとされ、曇りと晴天では、大気圧が1kPa以上
変化するからそのときの体積は1%も変化することになります。
 正確な流量を測定するためには、必ず条件を整えておく必要
があり、例えば、1気圧0℃とか1気圧20℃とか定義する必要
があります。
 標準状態と呼ばれる定義は、その業界によって異なりますので
その都度確認することも必要です。例えば、SEMIスタンダートと
呼ばれ半導体業界で利用されているMFC(マスフロコントローラー)
などの場合、SCCM(スタンダード:0℃/1atm、cc/min)です。
SI表示単位系では使用できないためPa・m3/sec など換算値に
変換する必要があります。

換算値例
1 sccm(非SI単位系) = 1.69 x 10 -4 Pa・m3/sec(SI単位系)
= 1.27 x 10 -3 Torr・L/sec(非SI単位系)
= 1.69 mbar・L/sec(非SI単位系)
      = 1.67 atm・cm3/sec(非SI単位系)

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。


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 7月15日
 天気 雨のちくもり
 気温 24℃

です。
マリナーズ城島選手が満塁ホームランです!
すっかり定着しましたが、日本人選手の活躍が
あたりまえになったのは、礎になった野茂選手
があってこそ。
今、結果が出ているのは、かつて布石が打たれ
たからこそ。
野茂選手、今を楽しませてくれてありがとう!

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