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許容リーク量

2007年7月 1日 22:28

 真空装置や製品の漏れ検査を行うのに「リーク量」と
呼ばれる漏れ量で管理しています。

以下に各装置、各アプリケーションでの許容リーク量を
お知らせいたします。

簡単な減圧装置、ろ過装置、真空成型装置
10 〜 10 2 Pa・m3/s

減圧乾燥装置、含侵装置、真空輸送装置
1 〜 10 Pa・m3/s

減圧蒸留装置、真空脱気装置、真空濃縮装置
10 -2 〜10 -1 Pa・m3/s

分子蒸留装置、冷凍乾燥装置
10 -4 〜 10 -3 Pa・m3/s

真空冶金装置、簡単な蒸着装置、スパッタ装置
10 -7  〜 10 -6 Pa・m3/s

加速器、高級な薄膜作成装置
10 -9 〜 10 -8 Pa・m3/s

大型の超高真空装置、表面分析研究装置
10 -11 〜 10 -9 Pa・m3/s

小型の超高真空装置
10 -12 〜 10 -11 Pa・m3/s

封じ切りの電子管
10 -13 Pa・m3/s 以下

値を定めても、実務上では漏れを止める作業や
実際の漏れている箇所、部位を特定することが
とても骨の折れる作業です。

真空漏れの検査や検査冶具、検査装置の
ご相談は、川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご連絡ください。

TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。


今日の埼玉のお天気は?
 7月1日 
 天気 曇りのち晴れ
 気温 24℃

です。
昨日は、ひと月に二度の満月になる
「ブルームーン」だったそうです。
数多くあることでない自然現象を、神秘的な
表現で表している、とても人間的な言葉ですね。

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