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トラブルシューティング 真空編

2007年6月 9日 21:57

「さっきまで何の異常も無く動いてたターボ分子ポンプが
 一度メンテナンスで停止させた後、正常に起動しなくなりました。
 何故でしょう?」

作業現場でそのようなことが実際ありました。

環境は・・・
・まったく同じ真空排気システム4セットのうち1セットだけ再起動しない。
・吸気している雰囲気は、空気でほぼ腐食系や反応性の汚れはなし。
・TMP停止の際、大気突入した可能性はなし。
・機器購入約1年で、起動停止はほぼ無く連続運転で使用していた。
・電源、入出力制御機器は、正常に起動した排気セットと交換しクロス
 チェックしたが問題なし。
・真空排気セットの吸引側がチャンバー側(負荷側)より高真空で引かれて
 いることは無く、吸気メインバルブを閉じ補助ポンプから起動している。
・TMPはフィンがローテーションスタートするが、定常運転10000Hzに
 到達する遥か前の40Hzで頭打ちになってしまう。
・TMPコントローラーの、定常運転80%運転に15分以内に起動できず
 インターロックでエラーメッセージが出てしまう。
・TMPコントローラーの自己診断機能、過去10回のエラー履歴には
 なにも問題と思われる記録は無し。
 
大前提の、電源コード、信号コード、配線間違いなど無いことを確認。

何故だ何故だ?

TMP本体の故障と見て、メーカーサービスに現品確認を
してもらうしかない。そんな時、一点の基礎的な確認を
してみました。

ちゃんとTMPを補助ポンプ(このときはRP)で吸引しているか?

本来、真空であるはずのRP直上のカットオフバルブTMP側
クイッククランプを外してみると・・・

大気でセンターリングOリングが、ポロリと脱落。

結論:カットオフバルブの動作が不良でTMPを補助引きして
   いませんでした。そのためTMPは補助圧不足で起動で
   きませんでした。

 TMPメーカーサービスさんの説明でTMPは補助引きなし
でも起動可能な機種であり、その場合の周波数が80〜100Hz
であると聞いてRPが補助引きされていないとは思いませんでした。

 動かない原因を、動かない機器自体に求めがちですが
外部要因、常識的な確認要素を改めてチックすることが
トラブル時の原則であると勉強しました。

真空排気セットのご相談、TMP、CRYO、DRY、RPなど
各種真空ポンプご購入の機種選定など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご連絡ください。

TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。
よろしくお願いいたします。


今日の埼玉のお天気は?
 6月9日
 天気 曇りのち雨
 気温 21℃

です。
本日、夜に突如、突き上げるような揺れを感じるような
地震がありました。
そのとき、電話をしていた人間やテレビを見ていた者は
まったく気づいていませんでした。
逆に地震を肌で感じた者は、揺れが突き上げで大きく
感じたので、また来ないか心配していました。
認知したかどうかで、物事の見方、受け止め方は
まったく異なるものですね。
ともかく、大事が無いからこそ言えることです。

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