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真空容器の排気

2007年6月 6日 22:52

 真空容器(真空チャンバー)にどの程度の真空排気システム
を使用するか、どのように真空容器を製作するかで、到達真空度
到達時間などに差が出てきます。

簡単な計算では・・・

 容積 1L の真空容器(真空チャンバー)を 1L/sec の真空ポンプで
排気すると、1秒ごとに圧力は、 1/3 となります。10L の真空容器
を 1L/sec のポンプで排気すれば、10秒ごとに圧力は 1/3 となります。
そしてこの値は、決してゼロ(絶対真空)になることはありません。
 理論計算でいくと、1Lの容器を1L/sec の真空ポンプで30秒も真空
排気すれば 10 -9Pa (10 -11 Torr) という超高真空に到達することが
できることになりますが、これは真空容器が完全無欠であって、真空
ポンプも完璧な場合ですが、実際に真空装置を動かしてみればわかる
ことですが、このようなことは有り得ません。
 完全無欠な真空容器(真空チャンバー)である要素を阻害する要因は

・漏れ(リーク
・透過
・真空容器内壁の吸着ガス
・表面の吸着ガス

などです。

 真空ポンプも到達真空度近くになりますと排気速度が小さくなります。
故に真空度が上がり難くなるのです。

 そうしたことから真空装置の排気時間は低真空(あら引き)まで数分から
10〜20分程度。メインポンプへ切り替えて高真空(本引き)に到達させる
には短ければ数分、長いと数時間かかります。

 「真空チャンバーと排気セットとの兼ね合いは、時間をかければリークが
なければいずれは高真空には到達します。」

真空チャンバーの製作、真空排気設備のご検討など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

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よろしくお願い致します。


今日の埼玉のお天気は?
 6月6日
 天気 晴れ
 ボンベ庫の温度 朝23℃、昼27℃

です。
昨晩、午後六時より埼玉県が主催する社会人対象の
技能講習に参加してまいりました。
費用は数回の講習で数千円。
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