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真空成膜法 スパッタリング

2006年9月22日 05:23

真空装置の代表的な成膜法であるスパッタリング。

 この現象を利用して産業用製品から一般消費材まで
幅広い加工法として知られ、いわゆる「スパッタ装置」
はありとあらゆる真空装置メーカーさんが製品化している
代表的真空装置です。

それではスパッタ(スパッタリング)とはどんな現象なのでしょうか?

 高エネルギーの原子や分子が固体に衝突すると、固体表面から
原子が叩き出されてきます。このときスパッタされる固体をターゲット
と呼び、基板とターゲットを対向させておき、数 Pa 〜 数十 Pa 程度の
Ar ガス雰囲気中でターゲットに数 kV の負の直流高電圧を印加します。

 すると放電現象が生じ Ar ガスがイオン化してターゲットに衝突し
原子を叩き出すのです。この原子を基板上に堆積させて薄膜を
形成するわけです。

ターゲット背面に磁石を設置し成膜速度を向上させたマグネトロン
スパッタ装置産業界では利用されています。

マグネトロン、スパッタソースを弊社でもお取り扱いしております。
また、スパッタ装置の設計・製作もご相談に応じご希望の仕様で
お作りいたします。

川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。


今日の格言
男に生まれた人生観とは?
「悔いに満ちた人生ではあるが、それが私にとって私の人生なのだ。
 私としては精一杯生きてきた人生である。それと違った人生を
 はたして私が持ち得たかどうか。悔いに満ちたこの人生こそ私の人生で
 それ以外に私の人生はありえなかったのだ。
 それは私が私の人生を、悔いに満ちた人生にせよ、不遇の人生だった
 とは思わないから。事実、私は私の人生を不遇とは思わない。
 と同時に、私の人生を何も栄達の人生だとも思っていない。
 つまり客観的に私の人生がどうあろうと、私のこの人生しか私には
 なかったのだ。人生とは私にとって、私の人生しかないのだ。」
(高見順)

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