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シランの燃焼

2006年8月29日 21:25

半導体産業に欠かせないガスであるシラン(モノシラン)は
エピタキシャル成長、ポリシリコン、酸化シリコン、窒化シリコン
など、半導体用特殊ガスの中で最も多く大量に利用されております。

有毒であり可燃性であるシランは、空気に触れると自然発火します。
また、滞留した場合には爆発の可能性もあります。
強酸化剤であり、酸化性物質及び重金属ハロゲン化物と激しく反応するので
注意が必要です。

以下の映像は、高圧ガスの防災訓練で燃焼・消化実験をしている様子です。
シランの燃焼

シランのような自燃性ガスは、一旦着火すると消火することは難しいため
付近にある燃えやすいものなどを遠ざけ、散水などしながら燃焼させる
しかありません。消火したとしても再発火する危険があるので、容器温度が
下がるまで散水を継続する必要があります。
※もちろん緊急遮断弁、容器元バルブの自動閉止など遠隔操作で
 ガス供給を遮断できる場合には、空気呼吸器などの安全器具を装着
 した上で、速やかに容器バルブ閉止をしましょう。
 

映像でもありますが、消化剤は粉末消火器、水、泡材でおこないます。
ハロン(13B1)は支燃剤としての働くので注意が必要です。

詳しくは、製品安全データーシートなどをご参照ください。

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(スチーブンソン)

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