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NEG 非蒸発型ゲッターポンプ

2006年8月 1日 23:40

Non-evaporable getter Pump
NEG 非蒸発型ゲッターポンプは、真空中の気体分子を
金属の清浄な表面が持っている強い化学反応性を利用することで
化学結合し、固定化するいわゆる「ゲッタ作用」を働かせます。

ゲッタ材であるジルコニウムなどゲッタ合金を加熱・昇温させ
活性化させます。水素に対しては固溶体をなして吸着されますが
使用合金の特別に低い水素平衡圧により、超高真空で水素吸着
を可能にしています。

ポンプ稼動時には無電力で使用ができるため、輸送途中や辺境地での
実験設備などには最適です。また、振動もありません。更には他の
超高真空タイプの真空ポンプと比較してもポンプの大きさが小型であることや
軽量であり、オイルフリーのドライな真空排気が可能であり、室温での
超高真空排気を行うことができます。

ただし、溜め込み式なため、活性化などの際に排気する別のポンプが
必要不可欠です。更には、吸着剤が吸着容量を超えてしまった場合
交換が必要となります。

以下は、サエス社製ゲッターポンプのコントローラーユニットです。

IMGP4384.JPG

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今日の格言
理想への挑戦とは?
「人間は希望的動物なり。彼にありては
 前を望むは自然にして、後ろを顧みるは
 不自然なり。希望は健全にして、回顧は
 不健全なり。「後にあるものを忘れ、前に
 あるものを望む」と罪を忘れ、疾病を忘れ
 失敗を忘れ、怨恨を忘れ、神と生命、成功と
 愛に向って進まんのみ。」
(内村鑑三)

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