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真空の漏れ(リーク)

2006年6月28日 07:52

地球上の大気圧に存在する空気を取り除き
真空状態にしても 「リーク」 と総称される
漏れは存在します。
※漏れがあってはならない高圧ガス配管などの世界とは
 まったく異なりますね。
 確認ですが、ガス漏れはあってはなりません!

真空容器内(チャンバーなど)を真空に保てる真空装置は
漏れが無いような構造で組みたてられているのですがその
気密が破れること(リーク)は大変なことです。 ですが実際には
真空装置にリークがあるという根本的な問題の他にも色々な
要素が隠れています。

実は真空の圧力領域にはいろいろなリークの要因があるのです。
それらを総合してリークと呼んでいます。 ずばり断言すれば
リークはあらゆる真空装置に存在しています。 リークのきわめて
少ない処理や対策を取った極高真空装置であっても、極めて
かすかなわずかなリークが存在しているのです。

リークの原因を挙げてみましょう。

・フランジの締め付け不良
・フランジシール面の傷(ICFなどエッジ・VFフラット面など)
・ICFガスケット自体のキズ
・溶接部分の割れやピンホールなど
・真空ブレージング処理の欠陥
・Oリングシールの可動部のキズ
・エラストマーシールのキズ
・磁気シールなど磁性流体の保持不足
・成形、溶接ベローフレキ部のキズ、劣化
・ビューポートなどSUSxガラスの封止部割れ
・フィードスルーなどSUSxセラミック封止部割れ
・容器(チャンバー)自体の素材(ス、界面割れ)
・あらゆる部品の割れやキズ

他にも多々考えられますが、確実にリークを少なくするには
上記の要素を一点一点つぶしていくことが肝要です。

「リーク」は、ゼロには出来ません。
だからこそやるべきことは無限に存在するのです。


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「人を相手にせず、天を相手にせよ。
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 わが誠の足らざるを尋ぬべし。」
(西郷隆盛)

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