シュラウド冷却用LN2
Molecular Beam Epitaxy
MBE １０ -8Pa 近い超高真空中で結晶構成元素を蒸発させ
基板上にエピタキシャル成長させる。蒸発量の制御によって
１０Å台の超薄膜の膜厚制御ができる。超格子や量子井戸構造
などを実現できるから、GaAs や AlGaAs など化合物半導体に
広く用いられる。
この装置の加熱部分を冷却するために、液体窒素が使用されています。
この液体窒素を、液面を自動的に検出し、残量が低下したり
タイムイベントにより液体窒素の自動供給を可能にしています。
センサー径は、割り箸程度の細さがあれば、液面検出が可能です。
このとき、液体窒素の送りと、ガス化した窒素ガスの戻りの経路が
確保されればシステムをハンドメイドできます。
液体窒素自動装置を、オーダーメイド致します。
液体窒素関連機器、低温機器、クライオスタット
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の格言
人の一生とは？
「われわれの年齢は植物のそれである。
芽をふき、成長し、花を咲かせ、しぼみ
そして枯れる。」
（ヘルダー）