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真空ポンプ

2006年3月28日 22:34

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真空ポンプには多様な種類があります。
その中で、高真空用のポンプでは
油拡散ポンプ(ディフュージョンポンプ)やターボ分子ポンプ
クライオポンプなどあります。

ゲッターポンプをご存知でしょうか?

ジルコニウム、パナジウム、鉄などが
気体分子を吸着させ真空排気させるものです。
金属表面が気体分子などに覆われると排気能力が
下がるため、定期的に再活性化をする必要があります。
但し、希ガスはこれら金属に吸着しないため
これらのガスに対する排気速度は無い。

ガス精製機にも使用されている チタン( Ti ) ジルコニウム( Zr ) は
やはり金属のゲッター効果を利用してます。

これらの金属を 500〜800℃ に加熱すると
表面が昇華し、清浄な表面を作ります。
Ti , Zr は化学的に活性なために
水素・酸素・窒素・一酸化炭素もしくはその他の不活性ガスを
化学的に吸着し、ガスを精製することができるのです。

高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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