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真空機器・装置

2006年3月25日 10:58

 「真空」 にかかわる製品は

半導体・FPD、電子部品産業・光学・記録材料関連産業
機械・金属材料・加工業・理化学機器・宇宙開発
食品・化学・薬品産業分析・試験機 などで使用されています。

実際に使用されている真空機器がどのようなものか?

展示会などで分類されている 真空機器・装置 につき
機器名をご紹介してまいります。

真空装置
・真空蒸着装置
・真空重合装置
・有機デバイス作製、評価装置
・有機EL、太陽電池蒸着装置
・光学式蒸着装置
・有機EL用製造装置

・スパッタリング装置
・ECRスパッタリング装置
・光学薄多層膜用スパタリング装置
・ディスク用スパタリング装置
・ハードディスク用スパッタリング装置

・CVD装置
・太陽電池用プラズマCVD装置
・DLC薄膜形成装置

・エッチング装置

・MEMS用接合装置
・真空熱処理炉
・真空加熱炉
・真空ベーキング炉
・陽極接合装置

・真空乾燥、凍結装置
・真空蒸留、濃縮装置

・真空分析、試験装置
・IMAS質量分析装置
・トライポロジー試験装置
・電子顕微鏡(SEM,TEM)

・真空装置用冷却装置
・コールドトラップ
・大気圧マイクロ波プラズマ装置
・ECRプラズマ成膜装置
・真空排気装置
・イオンプレーティング装置
・グローブボックス
・ガス循環精製装置
・真空ヒータープレス

真空ポンプ
・ドライポンプ
・ダイヤフラムポンプ
・ターボ分子ポンプ
・クライオポンプ

計測器
・真空計
・リークディテクタ
・ガス分析計
・膜圧測定器、表面形状測定器
・質量ガス分析計
・真空中パーティクルモニタ
・ゲージ
・四重極ガス分析計
・計測器
・ズームマイクロスコープ

真空機器、装置関連機器、部材
・MFC、流量計
・バルブ
・継手
・超高真空バルブ
・ベローズ、ゲートバルブ
・真空バルブ
・真空バタフライバルブ

・RF,DC電源
・RF,DC、EB電源
・プラズマ用高周波電源
・注入装置用電源
・高周波電源
・スパッタ用電源

・真空蒸着源
・電子、イオンビーム源、電子銃

・磁性流体真空シール
・バルブ、配管ヒーター
・シール材
・蒸着フィラメントボード
・真空対応位置決めステージ
・真空ロウ付け製品
・真空蒸着膜厚制御装置
・パルスチューブ冷凍機
・真空対応エンコーダー
・真空シール
・電子、イオンビーム、プラズマ解析ソフト
・プラズマ材料プロセス、希薄気体統合シュミレーションツール

※製品として世の中に販売されている名称を掲載しております。
 全ての種類を網羅しているわけではありませんのでご理解ください。

高圧ガス、低温機器、真空機器

川口液化ケミカル株式会社

TEL 048-282-3665

E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp

ありがとうございます。


今日の格言
人生にとって時間とは?
「朝寝は時間の浪費である。
 これほど高価な出費は他にない。」
(デール・カーネギー)

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