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光学モニター

2006年3月12日 21:35

昨日に引き続き、分光器についてかなり専門的ではありますが
光学モニターのご説明です。

真空蒸着法やスパッタリング法などにより光学多層フィルターを作るためには
膜圧を正確に制御する必要があります。
そのために、水晶モニターや光学モニターが使用されるのです。

光学モニターとは?

 一般的な真空蒸着装置では、真空室内部での蒸着源や基板加熱ヒーター
から種主の周波数成分を含んだ分光器にとってノイズの光が発生します。
そうした環境下で安定な膜圧制御を行うために、まずは光源ランプを安定化
させます。さらには安定なチョッパーで外部光に同調しない測定光を作ります。
周波数の安定化にチョッパー、モーター類の同期が必要です。
チョッパーを通過した光がモニター基板の光量変化を検出し、干渉フィルター
を介して受光部に入ります。干渉フィルターはノイズ光を除去する役目を
担っています。受光素子からリード線、制御盤を経由し制御メイン回路に
信号として伝達されます。その間、電子銃や加熱ヒーターなど電磁波ノイズを
発生する機器のため電気ノイズが乗りやすいので光電管・フォトダイオードなど
受光素子は大きな出力インピーダンスとし、逆に、信号を増幅することで出力
インピーダンスを小さくするプリアンプを一体化してノイズ対策を取っています。
メインの増幅回路で増幅された信号は、バンドパスフィルター(電子回路)により
チョッパー周波数の信号だけとなり、AC/DC変換されPC制御AD変換回路に
信号化され送られます。このDC信号の変位を検出して薄膜の膜圧を把握し
蒸着膜制御に利用しているのです。

ガス・真空分野から、かなり専門的な光の世界に踏み込みました。
弊社取扱い商品である光関連商品のご紹介ということで敢えて
ご説明させていただきました。


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