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真空ポンプ

2006年1月31日 20:21

弊社では、高圧ガス販売・高圧ガス機器装置販売、高圧ガス用配管工事など
生業としながら、真空機器の販売、真空チャンバーの製作、真空ポンプのメンテナンスまで
請け負っております。

本日は、真空ポンプをご紹介します。

真空ポンプと総称しますが、低真空から超高真空領域まで
さまざまな真空ポンプがあります。

1、輸送式真空ポンプ
 1) 容積移送式真空ポンプ
  A) 復動式ポンプ 
ピストン真空ポンプ
  B) 回転式ポンプ
   液封真空ポンプ
   油回転(真空)ポンプ
     回転翼形油回転ポンプ
     カム形回転ポンプ
     移動ピストン形回転ポンプ
   ルーツ真空ポンプ
 2) 運動量輸送式真空ポンプ
  A) 機械的ポンプ
   ターボ(形)真空ポンプ
   分子ポンプ 
    ターボ分子ポンプ
  B) 流体作業式ポンプ
   エジェクタ(真空)ポンプ
    液体ジェット(真空)ポンプ
    気体ジェット(真空)ポンプ
    蒸気ジェット(真空)ポンプ
   拡散ポンプ
    拡散エジェクタポンプ
    分留形油拡散ポンプ
    自己洗浄形油拡散ポンプ

2、気体溜め込み式真空ポンプ
   ソープションポンプ
   ゲッタポンプ
    サブリメーションポンプ
   ゲッタイオンポンプ
    蒸着イオンポンプ
    スパッタイオンポンプ
   クライオポンプ
    クライオソープションポンプ

ありとあらゆるポンプが列記されてます。
(オーム社 真空ハンドブックより)

以上のポンプは

低真空→中真空→高真空→超高真空→極高真空

各領域で使用するポンプはおのずと分類されてまいります。
とは申しましても、一般的には

低真空
ロータリーポンプ
ダイアフラムポンプ
ドライポンプ

高真空
油拡散ポンプ
ターボ分子ポンプ
クライオポンプ
ゲッタポンプ

などに分類されてまいります。

各真空領域用の用途に即した、それぞれご予算なりのポンプを
お勧めさせていただきます。
また、ポンプのアフターメンテナンス対応いたします。
ロータリーポンプなどの油漏れ、故障などオーバーホール品の引取りから
完成品の納入まで対応いたします。


高圧ガス、低温機器、真空機器

川口液化ケミカル株式会社

TEL 048-282-3665


E-mail : CutHere_info@klchem.co.jp


ありがとうございます

今日の格言
人生とはなにか?
「貧乏人とは少ししか持たない者のことではなく
 たくさん欲しがる者のことである。」
(スウェーデン)
 読んで字の如く。


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